實(shí)驗(yàn)室潔凈烘箱,空氣潔凈烘箱,無(wú)塵車間潔凈烘箱===蘇州銀邦節(jié)能電熱設(shè)備有限公司
廠家技術(shù)服務(wù)熱線:楊經(jīng)理 15851656650.
我公司生產(chǎn)的潔凈烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到最佳溫度控制精度。無(wú)塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。潔凈烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
無(wú)塵潔凈烤箱詳細(xì)資料:
一.特點(diǎn):
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 10
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 10,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
二.執(zhí)行與滿足標(biāo)準(zhǔn):
1.GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件
2.GB2423.2-1989試驗(yàn)B
三.潔凈烤箱用途:
無(wú)塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
無(wú)塵潔凈烤箱也可用于非揮發(fā)性及非危險(xiǎn)物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
四.潔凈烤箱技術(shù)參數(shù):
1.名稱及型號(hào):無(wú)塵潔凈烤箱 SZYB-LY-001
2.主要技術(shù)指標(biāo):
2.1無(wú)塵等級(jí):Class 10;
2.2溫度范圍: 60~ +300℃;
2.3溫度均勻度:200℃±3℃、300℃±4℃;
2.4溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
2.5溫控精度:±0.1℃;
2.6潔凈烤箱擱板為活動(dòng)形式。(兩箱式)
2.7電源:380v , 50Hz,12Kw
3、潔凈烤箱箱體結(jié)構(gòu):
3.1潔凈烤箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵;
3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
3.4內(nèi)膽材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。