微細(xì)小孔加工工藝分析
目前微細(xì)小孔加工技術(shù)現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于精密過濾設(shè)備、化纖噴絲板、噴氣發(fā)動機(jī)噴嘴、電子計(jì)算機(jī)打印頭、印刷電路板、天象儀星孔板、航空陀螺儀表元件、飛機(jī)葉片以及醫(yī)療器械中的紅血球細(xì)胞過濾器等零件的加工領(lǐng)城。本文分析用激光加工和電火花微孔加工的方法，每一種加工方法都有其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，這主要取決于工件孔徑的大小，孔的排列，孔的密度，孔的精度要求。
激光加工主要對應(yīng)的是0.1mm以下的材料，電子工業(yè)中已經(jīng)廣泛地應(yīng)用了激光加工技術(shù)。例如，精密電子部件、集成電路芯片引線以及多層電路板的焊接；混合集成電路中陶瓷基片或?qū)毷系你@孔、劃線和切片；半導(dǎo)體加工工藝中激光走域加熱和退火；激光刻蝕、摻雜和氧化；激光化學(xué)汽相沉積等。但是作為金屬的微細(xì)小孔加工，激光存在的問題是會產(chǎn)生一些燒黑的現(xiàn)象，容易改變材料材質(zhì)，以及殘?jiān)灰浊謇砘驘o法清理的現(xiàn)象。不是完美的微孔加工解決方案。如果要求不高，可以試用，但是針對批量的訂單，激光加工就無法滿足客戶的交期和成本的期望值。
電火花微孔加工技術(shù)隨著微機(jī)械、精密機(jī)械、光學(xué)儀器等領(lǐng)域的不斷拓展而得到廣泛的關(guān)注。電火花微孔加工以其加工中受力小、加工的孔徑和深度由調(diào)節(jié)電參數(shù)就可得到控制等優(yōu)勢，使其在各國的研究日益活躍。電火花精密微孔機(jī)利用電火花放電原理加工精密微孔。適合于加工各類噴嘴精密微孔、化纖紡絲板精密微孔等各類精密微孔。數(shù)控電火花精密微孔機(jī)通過簡單電極數(shù)控組合，加工噴絲板不同的規(guī)格、形狀、孔型的微孔和噴絲板的各種異形微孔。電火花精密微孔機(jī)加工精密圓形微孔范圍一般在在￠0.08-￠1mm，孔深一般在1-3mm以內(nèi)。孔的加工精度（孔徑Φ0.2mm厚度≤1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）±0.003mm。加工表面粗糙度: Ra≤0.4μm.單孔加工時間（孔徑￠0.2mm厚度1.0mm材料1Cr18Ni9Ti）≤30秒。電火花精密微孔機(jī)可采用圓形細(xì)長絲電極或細(xì)長扁絲電極，亦可采用異形整體電極加工圓形或各種異形截面微孔。但是電火花加工是一個典型的慢加工，在加工微細(xì)小孔時表現(xiàn)的尤為明顯，時間隨著加工精度的提高而減慢。
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