第三代半導(dǎo)體材料有哪些?
第三代半導(dǎo)體材料主要包括氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)和氮化鋁(AIN)等寬禁帶化合物。與硅(Si)材料相比,氮化鎵(GaN)和碳化硅(SiC)等第三代半導(dǎo)體材料具有寬禁帶、高擊穿電壓、高載流子遷移率、高導(dǎo)熱率、高電子飽和速率等優(yōu)點(diǎn),在光電子器件、電力電子器件、固態(tài)光源等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。目前,GaN和SiC材料研究較為廣泛,發(fā)展*為迅速。
GaN材料禁帶寬度達(dá)到了3.4 eV,因其優(yōu)異的性能成為高溫、高頻、大功率微波器件的首選材料之一。20世紀(jì)90年代以后,GaN半導(dǎo)體材料以年均30%的增長(zhǎng)率快速發(fā)展,成為了激光器(LFs)及大功率LED的關(guān)鍵性材料,因?yàn)镚aN禁帶寬度覆蓋了更廣闊的光譜范圍,使得GaN在高亮度LED、激光器產(chǎn)品領(lǐng)域有了商業(yè)應(yīng)用。并且,GaN功率元件進(jìn)入市場(chǎng)不久,有著與SiC相似的性能優(yōu)勢(shì),以高功率GaN為例,具有更大的成本控制潛力和更大的輸出功率,成為下一代功率元件的候選材料之一。
SiC具有高熱導(dǎo)率,并且具有與GaN晶格失配小的優(yōu)勢(shì),非常適合用作新一代LED襯底材料、大功率電力電子材料等。以SiC為代表的第三代半導(dǎo)體材料首先在LED半導(dǎo)體照明領(lǐng)域取得突破,實(shí)現(xiàn)規(guī);瘧(yīng)用。目前,SiC器件生產(chǎn)成本持續(xù)降低,應(yīng)用已得到普及,但是,因其使用中存在低電壓部分,使得部分領(lǐng)域中仍舊以硅器件為主?梢钥隙ǖ氖荢iC功率器件市場(chǎng)將會(huì)持續(xù)走高。