型號(hào):JX213602RSE180干式螺桿真空泵 | 型號(hào):JX213603RSE80干式螺桿真空泵 |
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
2500/3000 l/min | |
150/180 m3/h | ||
88/106 CFM | ||
極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-3 Torr | |
≤1.0x10-2 mbar | ||
≤1.0 Pa | ||
水冷密封馬達(dá)(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
電壓Voltage | 220~440 V | |
額定功率Rated Power | 6/4.47 HP/Kw | |
連接口(Connection) | 進(jìn)氣口 Inlet | NW50 |
排氣口 Outlet | NW40 | |
冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
接頭 Connection | RC3/8" | |
氮?dú)?/b> N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
尺寸 Dimension | 長(zhǎng)x寬x高 | 920x430x650 mm |
重量 Weight | 320 Kg | |
噪音 Noise | 70 dB(A) | |
控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 |
抽氣速度(50/60Hz)Pumping Speed(50/60Hz) |
1300/1600 l/min | |
80/96 m3/h | ||
47/57 CFM | ||
極限壓力(Ultimate Pressure) | ≤7.5x10-3 Torr | |
≤1.0x10-2 mbar | ||
≤1.0 Pa | ||
水冷密封馬達(dá)(Canned Motor) | 頻率 Frequency | 50/60 Hz |
電壓Voltage | 220~440 V | |
額定功率Rated Power | 4/2.98 HP/Kw | |
連接口(Connection) | 進(jìn)氣口 Inlet | NW50 |
排氣口 Outlet | NW40 | |
冷卻水 Cooling Water | 壓力 Pressure | 2.0~4.0 kg/cm2 |
流量 Min. Flow | 3L/min 15℃ | |
溫度 Temp. | 7L/min 30℃ | |
接頭 Connection | RC3/8" | |
氮?dú)?/b> N2 | 壓力 Pressure | 0.15~0.2 Mpa |
稀釋流量 Dilute Flow | 0~60 L/min | |
密封流量 Sealing Flow | 0~20 L/min | |
接頭 Connection | Swagelok 1/4" | |
尺寸 Dimension | 長(zhǎng)x寬x高 | 814x380x663 mm |
重量 Weight | 280 Kg | |
噪音 Noise | 68 dB(A) | |
控制介面 Control | SEMI E73-0299 | |
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate | 1.0/10-5 mbar.l/s | |
室溫操作范圍 Operation Temp. | 5℃~40℃ | |
操作濕度 Operation Moisture | 90%以下 |