太陽(yáng)能電池板是通過(guò)吸收太陽(yáng)光，將太陽(yáng)輻射能通過(guò)光電效應(yīng)或者光化學(xué)效應(yīng)直接或間接轉(zhuǎn)換成電能。相對(duì)于普通電池和可循環(huán)充電電池來(lái)說(shuō)，太陽(yáng)能電池屬于更節(jié)能環(huán)保的綠色產(chǎn)品。那么，太陽(yáng)能電池板的制作流程是怎樣的?

　　制作流程：

　　切片，清洗，制備絨面，周邊刻蝕，去除背面PN+結(jié)，制作上下電極，制作減反射膜，燒結(jié)，測(cè)試分檔等10步。

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　　(1) 切片：采用多線(xiàn)切割，將硅棒切割成正方形的硅片。

　　(2) 清洗：用常規(guī)的硅片清洗方法清洗，然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。

　　(3) 制備絨面：用堿溶液對(duì)硅片進(jìn)行各向異性腐蝕在硅片表面制備絨面。

　　(4) 磷擴(kuò)散：采用涂布源(或液態(tài)源，或固態(tài)氮化磷片狀源)進(jìn)行擴(kuò)散，制成PN+結(jié)，結(jié)深一般為0.3-0.5um。

英利多晶太陽(yáng)能電池板

　　(5) 周邊刻蝕：擴(kuò)散時(shí)在硅片周邊表面形成的擴(kuò)散層，會(huì)使電池上下電極短路，用掩蔽濕法腐蝕或等離子干法腐蝕去除周邊擴(kuò)散層。

　　(6) 去除背面PN+結(jié)。常用濕法腐蝕或磨片法除去背面PN+結(jié)。

　　(7) 制作上下電極：用真空蒸鍍、化學(xué)鍍鎳或鋁漿印刷燒結(jié)等工藝。先制作下電極，然后制作上電極。鋁漿印刷是大量采用的工藝方法。

　　(8) 制作減反射膜：為了減少入反射損失，要在硅片表面上覆蓋一層減反射膜。制作減反射膜的材料有MgF2 ，SiO2 ，Al2O3 ，SiO ，Si3N4 ，TiO2 ，Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法，濺射法、印刷法、PECVD法或噴涂法等。

　　(9) 燒結(jié)：將電池芯片燒結(jié)于鎳或銅的底板上。

　　(10)測(cè)試分檔：按規(guī)定參數(shù)規(guī)范，測(cè)試分類(lèi)。 生產(chǎn)電池片的工藝比較復(fù)雜，一般要經(jīng)過(guò)硅片檢測(cè)、表面制絨、擴(kuò)散制結(jié)、去磷硅玻璃、等離子刻蝕、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、快速燒結(jié)和檢測(cè)分裝等主要步驟。

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