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勻膠烤膠機,(英文名:Spin Coater)
CB-1B型
廣泛適宜于在教學實驗中使用。 CB系列勻膠烤膠機適應于半導體,硅片,晶片,基片,導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.勻膠機穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性的特點. 該機在這方面采取了許多措施:
(1)定子和轉子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控硅調速優(yōu)越得多,轉速在300~8500轉/分范圍內非常穩(wěn)定.
(2)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.
(3)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關,光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數(shù)是n,則每分鐘應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數(shù)器就是每分鐘轉速,只不過差一個數(shù)量級.
(4)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.
(5)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間.
(6)智能型調節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~360秒 (7)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均 勻,保證通過調節(jié)轉速調節(jié)涂覆厚度.
(8)勻膠機配真空泵使用.
性能指標 性能指標:
1, 轉速和時間特點是 調速范圍:300-8000轉/分
勻膠時間:1-3600秒
2,LED數(shù)字顯示,
轉速穩(wěn)定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .
3,電源電壓:220V/ 50Hz
4,電機功率:90W
5,適用:Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠.
真空泵抽氣速率 ≥60升/分
6,操作簡便儀器尺寸:210×220×160 mm
7, 轉速調節(jié)形式, 采用變頻電源控制器調節(jié)
8, 烘膠板規(guī)格, ø200mm
9, 烘烤溫度, ≤200℃ 10,
整體臺面680×380×260m