1.無(wú)塵室作業(yè)安全規(guī)范

1-1.一般清潔區(qū)工作條件(廠務(wù)機(jī)房)

1) .進(jìn)入工作區(qū)前，鞋子必須清理干凈。

2) .最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。

3) .有規(guī)則的存放材料。

4) .禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有工作區(qū)必須有垃圾筒，收集廢料等東西。

6) .材料人員進(jìn)出必須清潔一次。

7) .所有人員及設(shè)備每周必須清潔一次。

8) .產(chǎn)生污染的工作必須個(gè)隔離。(噴漆、磨砂輪機(jī)等)

1-2.非常干凈區(qū)工作條件(潔凈室地下回風(fēng)區(qū))

1) .必須換穿專用的鞋子或鞋套。

2) .使用真空吸塵器清除臟東西。

3) .有規(guī)則的存放材料。

4) .禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有使用過(guò)的材料、殘余剩料等必須每日清除。

6) .所有工作區(qū)內(nèi)必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。

7) .材料人員進(jìn)出必須管制。

8) .所有人員及設(shè)備每周必須清潔一次。

9) .產(chǎn)生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機(jī)等)。

10).進(jìn)出工作區(qū)內(nèi)的全部材料必須清理干凈，才可進(jìn)入。

11).所有工作區(qū)必須換穿干凈工作服。

12).工作區(qū)的管線設(shè)備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。

1-3.絕對(duì)干凈區(qū)工作條件(潔凈室生產(chǎn)區(qū))

1) .必須換穿無(wú)塵專用的鞋子或鞋套。

2) .使用中央系統(tǒng)真空或特別過(guò)濾裝置的手提真空吸塵器清除作業(yè)時(shí)產(chǎn)生的金屬等粉屑。

3) .有規(guī)則的存放使用材料。

4) .禁止于工作區(qū)內(nèi)吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有使用過(guò)的材料、殘余剩料等必須每日清除。

6) .所工作區(qū)內(nèi)須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。

7) .材料人員進(jìn)出必須管制。

8) .所有工作人員及業(yè)主人員每日必須清潔干凈。

9) .產(chǎn)生污染的工作必須于進(jìn)入無(wú)塵室前完成。

10).進(jìn)入工作區(qū)內(nèi)的全部材料和工具必須用水清洗干凈，才可進(jìn)入。

11).除入無(wú)塵室應(yīng)換穿無(wú)塵依及尼龍手套外，余均應(yīng)穿著干凈之工作服。

12).禁止木質(zhì)或瓦愣紙材料所做的紙箱進(jìn)入無(wú)塵室。

13).禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。

14).含有油品的工具禁止攜入。

1-4.清凈室施工安全規(guī)則

1) .指定專人辦理安全事宜。

2) .勿雇用童工。

3) .工作區(qū)域內(nèi)禁止抽煙。

4) .必須準(zhǔn)備安全眼鏡。

5) .在清潔室須戴安全帽，特別是有震動(dòng)時(shí)。

6) .任何時(shí)間內(nèi)，均不得堵塞通道及出入口。

7) .在工作區(qū)域工作，必須保持干凈；如有產(chǎn)生垃圾，必須隨時(shí)準(zhǔn)備垃圾袋，

于每日收工時(shí)攜出清凈室。

8) .如有意外發(fā)生，須立刻告知監(jiān)工。

9) .特殊危險(xiǎn)工作區(qū)，須有安全圍籬及警告標(biāo)志。

10).地板開(kāi)口處，須有安全圍籬及警告標(biāo)志，以防止人員掉入。

11).須備有滅火器以防火災(zāi)。

12).滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用干粉滅火器。

13).工作架在超出地面2M以上時(shí)，須使用鷹架，人員須系安全帶(索)。

14).鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。

15).在超出地面2M以上時(shí)，工具須放置工具袋(箱)內(nèi)。

16).同時(shí)有兩組人員在不同高度工作時(shí)，須有良好之連系。

17).工作區(qū)域內(nèi)須有良好照明設(shè)備。

18).所有使用之電纜及電線，須有良好絕緣。

19).電纜及電線須連結(jié)良好，不可以電線直接插入插座。

20).保險(xiǎn)絲須確時(shí)使用，不可以鋼絲替代。

21).電纜及電線須正確使用，不可過(guò)載。

22).如已送電之電力供應(yīng)盤，須標(biāo)示警告標(biāo)志『高壓危險(xiǎn)』。

23).所有圓柱型物品須直立，并以鏈條或繩索固定。

24).切勿于地板面滾動(dòng)圓柱型物品。

25).如須移動(dòng)圓柱型物品，須使用特殊格架舉。

26).易燃物品如無(wú)人照料，不可置放于工作區(qū)域內(nèi)。

27).化學(xué)物品如有泄漏，必須馬上處理。

28).易燃物品須放置于有蓋容器內(nèi)。

29).任何閥、開(kāi)關(guān)插座、電源插座，不可隨意開(kāi)、關(guān)、拔除(機(jī)臺(tái)管線)。

30).任何配管配線、材料，非經(jīng)過(guò)監(jiān)工人員同意，不可擅自任意更改。
2.Piping installation管路架設(shè)

在無(wú)塵室或簡(jiǎn)易潔凈室執(zhí)行高潔凈度配管工作時(shí)，必須遵循下列的規(guī)定。

2-1.現(xiàn)場(chǎng)工作規(guī)定

l  攜入

材料必須置于特定的貯藏間，在工地現(xiàn)場(chǎng)或在材料間要提供暫時(shí)性的簡(jiǎn)易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時(shí)，有電子拋光的管件必須和未經(jīng)電子拋光的管件分開(kāi)。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開(kāi)直到現(xiàn)埸要使用時(shí)方可打開(kāi)，并且不要將材料直接放在地上。

l  切管

切管時(shí)，使用的自動(dòng)切割機(jī)或手動(dòng)切管器必須是專門為半導(dǎo)體廠工作所設(shè)計(jì)的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當(dāng)使用自動(dòng)切割機(jī)時(shí)，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時(shí)的碎屑進(jìn)入管內(nèi)。

l  倒角

原則上，在使用倒角機(jī)(TUBE SIZE用)或銼刀(PIPE SIZE用)時(shí)，小心地移開(kāi)切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松馳或管子彎曲等狀況發(fā)生時(shí)，這種管路是不合規(guī)定，必須重新切割及配置。當(dāng)?shù)菇菚r(shí)，在管的另一端必須用高潔凈度的氮?dú)鉀_吹(氮?dú)庖��?jīng)0.02um的過(guò)濾器過(guò)濾)。

l  N2沖吹

將管內(nèi)的微粒沖吹出來(lái)。

l  工作后的清潔

檢視切割機(jī)的潔凈度，保持機(jī)具不受油污，如果仍然看得見(jiàn)有油污或切割的碎屑?xì)堄啵�按照下列的方法清潔之�?/span>

用GN2沖吹

使用的N2必須經(jīng)-80℃或更低的露點(diǎn)，經(jīng)0.02um的過(guò)濾器干燥。

l  預(yù)制工作(在簡(jiǎn)易潔凈室clean booth)

在現(xiàn)場(chǎng)的焊接工作降至最低量是必需的。配管區(qū)必須在有潔凈氣的地方，在工作時(shí)維持風(fēng)扇正常運(yùn)轉(zhuǎn)，于早、中、晚用O2查看器檢查O2的濃度。

u  點(diǎn)焊

點(diǎn)焊使用TIG焊接，點(diǎn)焊的點(diǎn)數(shù)按照下列規(guī)定。

(CAJON的焊機(jī)必需保證管子確實(shí)牢固，從完成的觀點(diǎn)來(lái)看，最好不要使用手動(dòng)的TIG焊接，因此點(diǎn)焊被省略)。

3/4” 到15A到80A：3~4點(diǎn)。

u  沖吹氣體(Back seal gas)

使用氬氣，露點(diǎn)-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量為零。

u  沖吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設(shè)管路，使用(Back seal jig)

如圖(一)所示

       圖(一)  (參考用)

u  架設(shè)程序(圖二)

將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥

氬氣沖吹(預(yù)先沖吹1分鐘以上)

                                 ò    

點(diǎn)    焊

                                 ò

氬氣沖吹

                                 ò

焊接(自動(dòng)焊接)

                                 ò

氬氣沖吹風(fēng)(收尾沖吹1分鐘以上)

u  裝封(在Clean booth內(nèi)進(jìn)行)

完成焊接之后，在管內(nèi)充滿Ar氣，而且用無(wú)塵的塑料紙?jiān)谀┒税�裹兩層。如果末端的閥已經(jīng)連接好了，把閥也用塑料紙裹起來(lái)。