L481111/RZQ立式真空燒結(jié)退火爐
該真空燒結(jié)退火爐是生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和磁性材料燒結(jié)、退火工序中的重要設(shè)備。
主要技術(shù)指標(biāo):
1、工作溫度:400~1250℃
2、單點(diǎn)溫度控制精度≤±1℃/24h
3、恒溫區(qū)長度:≥200mm/±1℃
4、升溫功率:≤5KVA
5、升溫時(shí)間:(室溫至1050℃)≤75min
6、保溫功率:≤3KVA
7、重新定值重復(fù)性:≤±1℃
8、重開機(jī)重復(fù)性:≤±1℃
冷態(tài)真空度:≤5 x 10-3Pa(打開擴(kuò)散泵門后15min)
9、爐體傳動升降分:自動及點(diǎn)動,速度無級調(diào)速,自動燒結(jié)燒結(jié)為0~30min
10、真空室尺寸:φ80㎜~φ300mm
11、設(shè)備外形尺寸:1703 x 703 x 2450 (mm)(長 x 寬 x 高)
12、重量:約600Kg
13、工作條件:
(1)環(huán)境溫度:10~45℃
(2)相對濕度:≤85%
(3)電網(wǎng)電壓:220V ± 10% ~ 380V |