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1200℃單溫區(qū)雙路氣體CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號:CY-O1200-60IC150-D2FH
主要用途:1200℃單溫區(qū)雙路氣體CVD系統(tǒng)廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實驗;也可用于:真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域
一、產(chǎn)品簡介:
1200℃單溫區(qū)雙路氣體CVD系統(tǒng)(配快速接頭)主要由:1200型單溫區(qū)管式爐、雙路氣體浮子流量計、CY-4C真空泵和大口徑真空管道、擋板閥等組成;氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強,內(nèi)壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.。廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實驗;也可用于:真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。
二、主要特點:
1.該爐體采用上下“分-合”結(jié)構(gòu),易于取放爐管;
2.爐膛內(nèi)部設(shè)計有對流柵格,爐體內(nèi)部氣流容易形成上下對流循環(huán),有利于爐溫平衡,溫場均勻。
3.整個爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1100℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
4.爐膛采用進(jìn)口節(jié)能材料制作,整機能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
5.爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布,并且發(fā)熱元件已做內(nèi)嵌式固化,加熱時熱能輻射均勻溫和。
6.爐體配有:輸出電壓和輸出電流監(jiān)測表,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
7.每臺爐子出廠時:熱點偶都已做嚴(yán)格的測溫校驗,不合格品嚴(yán)禁出廠。
8.每臺爐子的控溫系統(tǒng)出廠前都經(jīng)過低溫,中溫,高溫的老化測試,確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠。
9.氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強,內(nèi)壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.可以外接兩種氣體。
10.真空泵為雙擊旋片式,可以長時間連續(xù)工作,并配有油氣過濾器,可以很好的凈化油氣,防止污染。
三、技術(shù)參數(shù):
1 |
產(chǎn)品名稱 |
1200型單溫區(qū)雙路氣體浮子流量計CVD真空管式爐 |
2 |
常規(guī)型號 |
CY-O1200-50IC150-D2FH |
3 |
CY-O1200-60IC150-D2FH |
|
4 |
CY-O1200-80IC150-D2FH |
|
5 |
CY-O1200-100IC150-D2FH |
|
6 |
爐膛模式 |
開啟式 |
7 |
顯示模式 |
高亮數(shù)碼管顯示(LED) |
8 |
爐膛材料 |
進(jìn)口纖維 |
9 |
加熱元件 |
進(jìn)口合金加熱絲 |
10 |
極限溫度 |
1200℃ |
11 |
工作溫度 |
≤1150℃ |
12 |
升溫速率 |
≤20℃(建議:10℃/min) |
13 |
加熱溫區(qū) |
單溫區(qū) |
14 |
溫區(qū)長度 |
440mm |
15 |
恒溫區(qū)長 |
100mm |
16 |
爐管材質(zhì) |
高純石英 |
17 |
爐管常規(guī)直徑 |
50mm |
18 |
60mm |
|
19 |
80mm |
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20 |
100mm |
|
21 |
爐管長度 |
1000mm |
22 |
密封方式 |
不銹鋼真空法蘭 |
23 |
氣 密 性 |
真空法蘭和石英爐管的氣密性最高可達(dá)4.03×10-3Pa |
24 |
控制模式 |
智能PID多段程序控溫 |
25 |
控溫精度 |
±1℃ |
26 |
溫度曲線 |
多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè) |
27 |
預(yù)存曲線 |
可預(yù)存多條溫度曲線 |
28 |
電流監(jiān)控 |
指針式電流計 |
29 |
電壓監(jiān)控 |
指針式電壓計 |
30 |
超溫報警 |
有 |
31 |
過流保護(hù) |
有 |
32 |
斷偶提示 |
有 |
33 |
測溫元件 |
K型熱電偶 |
34 |
電氣認(rèn)證 |
CE認(rèn)證 |
35 |
供電電源 |
AC:220V 50Hz~60Hz |
36 |
整機功率 |
2.5KW |
37 |
氣體通道 |
可連接2種氣源 |
38 |
流 量 計 |
浮子流量計 |
39 |
A路量程 |
10~100ml/min |
40 |
B路量程 |
16~160ml/min |
41 |
氣路壓力 |
-0.1~0.15 MPa |
42 |
系統(tǒng)真空 |
5~10Pa(需要達(dá)到其它真空度時,需選配不同的抽真空裝置) |
43 |
泵路鏈接 |
KF16不銹鋼質(zhì)波紋管、KF16卡箍、KF16擋板閥 |
44 |
真 空 計 |
標(biāo)準(zhǔn)配置機械真空計,也可選配電子真空計 |
45 |
售后服務(wù) |
15個月質(zhì)保,終身保修 |
46 |
包裝形式 |
多層膠合板包裝箱,包裝箱不回收 |
47 |
隨機配件 |
石英爐管、真空法蘭、爐管堵塞、O型密封圈、防護(hù)手套、坩堝爐鉤、說明書、聚四氟管、不銹鋼卡套接頭、不銹鋼波紋管、KF轉(zhuǎn)接頭、5mm內(nèi)六角扳手。 |
48 |
整套尺寸 |
左右:700mm;前后:600mm;高度:1190mm |