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9090-00811 AMAT 半導體系統(tǒng) 晉城

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9090-00811 AMAT 半導體系統(tǒng) 晉城

美國應用材料公司(Applied Materials，AMAT)瞄準近年來需求高漲的功率半導體及MEMS器件市場，將強化200mm晶圓生產(chǎn)設備相關業(yè)務，將來還打算支持功率半導體領域的300mm晶圓及SiC/GaN的生產(chǎn)。

AMAT的主力業(yè)務歸根結底還是300mm晶圓相關設備，但該公司“也一直在致力于200mm設備的業(yè)務”(AMAT元件及系統(tǒng)部門全球服務總監(jiān)田中豐)。除了銷售新的200mm設備之外，最近該公司還在開展對客戶擁有的200mm設備進行升級(改造)的服務，使這些設備能夠制造功率半導體及MEMS。該公司表示，其中尤其值得期待的是功率半導體領域。

作為200mm設備的新市場，功率半導體及MEMS器件領域值得期待。

IGBT的構造。要求實施厚膜外延及深溝道等工序。

制造Si-IGBT及超結MOSFET等功率半導體時，必須要使用厚膜的硅外延成膜設備、厚膜的鋁濺射(PVD)設備以及深蝕刻設備等。而且，要想以低成本制造功率半導體，改善處理能力也很有必要。

超結MOSFET的構造。除厚膜外延及深蝕刻外，還需實施填充溝道的間隙填充外延等工序。

瞄準功率半導體及MEMS器件領域的舉措田中介紹稱，面向功率半導體的200mm設備業(yè)務與300mm設備業(yè)務相比，“競爭環(huán)境大為不同”。300mm設備方面，AMAT的競爭對手是同行業(yè)的大型設備廠商，而200mm設備則不同，“免不了要與從事二手設備改造等業(yè)務的特定設備廠商競爭”。

這里說的特定廠商是指專門從事外延設備及濺射設備等特定設備的再生業(yè)務的廠商，其優(yōu)勢是價格低。在功率半導體制造的部分工序中，這些廠商的設備足以滿足需求，因此AMAT面臨著殘酷的價格競爭。但在這些特定廠商的設備無法獲得充分特性的重要工序方面，AMAT則可發(fā)揮其技術優(yōu)勢，尤其是在厚膜的外延成膜設備、鋁濺射設備及深溝道蝕刻設備等領域，AMAT可輕松發(fā)揮技術上的優(yōu)越性。

具體而言，厚膜的外延成膜設備方面，AMAT計劃在2014年滿足進一步厚膜化的需求，并改善處理能力。雖然目前能實現(xiàn)的膜厚最大為100μm，但2014年將達到150μm，此外還將把成膜速度從目前的4μm/分鐘提高至5μm/分鐘。另外，在厚膜的鋁濺射設備方面，還打算在2014年內確立膜厚達到5μm、鋁成膜速度達到2μm/分鐘的技術。

此外，AMAT還將大力開發(fā)為超結MOSFET形成溝道的深溝道蝕刻設備、填充溝道的間隙填充外延設備、離子注入設備，以及厚度不到100μm的薄化晶圓的處理技術等。

將來的舉措方面，AMAT提到了支持300mm晶圓及SiC/GaN的生產(chǎn)需求的措施。業(yè)內普遍認為，在硅功率半導體領域，2～3年后部分器件將開始用300mm晶圓來制造。從目前看，估計有很多廠商不會購置新的300mm設備，而是對已有的300mm設備實施改造來制造功率半導體。為此，AMAT將積極展開準備工作，以便使在200mm設備中確立的面向功率半導體領域的技術能夠推廣到300mm設備。

XYCOM PROFACE GP370-SC41-24VP RQAUS1
XYCOM XYCOM PM9403R RQAUS1
Xycom 9460 Terminal
XYCOM XYCOM 9403 RQANS1
AMAT 0820-01057 VESDA LaserCOMPACT Display Module
APPLIED MATERIALS AMAT OPAL SEMVISION CX TILT THETA CONTROLLER
AMAT 0225-97598 SWINGARM ASSY, MODIFIED
CAT 522020020 DRAIN TANK SUS
KLA TENCOR TIMING GENERATOR PCB 289787 AIT2
AMAT 0224-49613 WELDMENT,MANIFOLD SINGLE VALVE 8-LINE,
XYCOM XYCOM 9460-51338-TFT-T-F RQAUS1
AMAT 0227-64040 MANIFOLD, 7WAY FUJIKIN 8.66L
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AMAT 0100-01159 PWBA DAQ MICRO LINKED
XYCOM XYCOM 4115T RQAUS1
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XYCOM PROFACE AST3501-C1-AF RQANS2
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Xycom XVME-674 Circuit Boards 7167B-100 Rev. 4.1 - New No Box
AMAT 0020-30404 Perf. Plate, 150MM BW
Pro-face XYCOM 4715-KPMT Industrial PC Color Touch/Keypad, Nice Used

Tested
Lam Research OnTrak 605-016005-002 - PLLRGE272 PCB Interface User

XYCOM 2000 New
XYCOM XYCOM 70957-014 RQAUS1
AMAT 0150-16084 CA CHAMBER A-B-C-D,50 FT
AMAT 9010-00729 clip actuator
TOKYO ELECTRON TTLM02-12 MDIF5B PCB DS2180-021108-11 TEL FURNACE PCB

I/O
TOKYO ELECTRON TTLM01-12 MDIF2B PCB 2180-021107-11 TEL LITHIUS
AMAT 0020-27937 Bellows Location Insulator, Q2
AMAT 0021-01602 MANIFOLD,INPUT,WATER,NI PL, TI-XZ
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AMAT 1410-00796 GUN HEATER JACKET
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AMAT 0240-32712 Kit, Temperature Controller Addition
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XYCOM XYCOM XVME-531 (1.1) RQAUS1
Xycom Interface Panel/Monitor, 3512 KPM T _ 115 / 230 VAC _ 3512-

A1F214003600T
Xycom 9485 Operator Interface p/n 9485-0343314010000 Mazak VMM VQC-30

w/Cam M-2
KD Scientific KDS330 Emulsifier Syringe Pump
Rorze Automation NEC PC-9801US Mainframe Computer
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Pacific Scientific 70 40/40 Sensor, IN-Situ Particle Level Chamber

Vacuum
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AVIZA 908193-001 ANALOG BOARD,EXTENDED(SEMY)
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TEL 6650000 BOAT 200mm 140 SLOT SILICON CARBIDE
MEIDEN UA201/108A Controller - DNS SK 2000
KIT SERVICE TABLE 918243-001 KIT SERVICE TABLE SPLICE BELT -API
PRO-FACE XYCOM 5015R2-01000002011 15" OPERATOR INTERFACE PANEL

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AMAT 0190-10643 KENSINGTON EG/EGA ROBOT, WAIST-AXIS PCB,
XYCOM XYCOM 70675-098 RQAUS1
AXCELIS 250711 ACU/PCU/MCU SYSTEM CONTROL & DISPLAY
DNS 2-AE-J0132 ASSY, HP RIGHT SK2000
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AMAT 0100-00436 PCB Assembly, HDPCVD 300mm OPTO Interface
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DNS 2-XZ-13045 PLATE, HOT ADHESION (AH) 80B ASSY
Electro Scientific Industries 86841-000 ESI Amplifiers, Rack Mount

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BOC EDWARDS A540-11-999 BOC EDWARDS EXIT OIL FILTER CR BASE MODULE;

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