維修Agilent安捷倫 SH-110渦旋干泵用途
維修Agilent安捷倫 SH-110渦旋干泵用途
產(chǎn)品價格：￥1000（人民幣）
  • 規(guī)格：SH-110
  • 發(fā)貨地：廣東廣州
  • 品牌：
  • 最小起訂量：1臺
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    商品詳情
           干泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1，低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2.半導(dǎo)體刻腐蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到生成腐蝕氣體和研磨微粒；3.除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排除泵外，用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4.化學工業(yè)、醫(yī)學工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；5.用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
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