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安捷倫SH-110是業(yè)內(nèi)的干式密封渦旋泵,可以方便地組裝到原始設(shè)備制造商(OEM)系統(tǒng)中。這種單級泵體積小巧, 抽速110升/分(頻率60Hz) ,極限壓力50 mtorr (0.07 mbar) ,許多終用戶應(yīng)用的理想選擇。
SH-110泵符合歐盟(CE)、加拿大標準協(xié)會(CSA)和Semi S2-0200的要求。
