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Agilent TV401/301 NSF是特殊設(shè)計的渦輪分子泵，有時又稱為Varian TV401-301，轉(zhuǎn)速為60000轉(zhuǎn)／分鐘，極限壓力：1X10-9pa可以同時抽取兩個腔體的真空，TV-401 301 Macrotorr平臺為3個光盤形式。渦輪轉(zhuǎn)子由永久潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐，該軸承安裝在泵的前排側(cè)。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精確定位。Macrotorr定子采用自定位的機加工盤形式，具有泵送通道和受相應(yīng)轉(zhuǎn)子盤限制的開口。這些由鋁合金制成。
